Êàêîé ñïîñîá,ïî âàøåìó êîëëåãè,ñàìûé íîðìàëüíûé,÷òî-áû íå ïåðåñòàðàòüñÿ ïðè ñíÿòèè êîìïàóíäà,â ïëàíå ñíÿòèÿ ñàìîãî êîìïàóíäà ïî ïåðèìåòðó ìèêðîñõåìû è òåìïåðàòóðû+âðåìÿ äëÿ ñíÿòèÿ ìèêðîñõåìû ñ îñòàòêàìè êîìïàóíäà?